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如何進行半導體器件C-V特性測量
來源:泰勤科技 | 作者:sztaiqin | 發(fā)布時間: 2021-03-18 | 2250 次瀏覽 | 分享到:
?吉時利2450型觸摸屏數(shù)字源表是一款集I—V特性測試、曲線追蹤儀和半導體分析儀功能于一體的低成本數(shù)字源表。吉時利2450豐富的功能也讓它非常適合集成到自動測試系統(tǒng)中
電容-電壓(C-V)測量廣泛用于測量半導體參數(shù)，尤其是MOS CAP和MOSFET結構，C-V 測試可以方便的確定二氧化硅層厚度dox、襯底摻雜濃度N、氧化層中可動電荷面密度Q1、和固定電荷面密度Qfc等參數(shù)。
C-V測試方法

進行 C-V 測量時，通常在電容兩端施加直流偏壓，同時利用一個交流信號進行測量。一般這類測量中使用的交流信號頻率在10KHz 到10MHz 之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描，掃描過程中測試待測器件待測器件的交流電壓和電流，從而計算出不同電壓下的電容值。
C-V測試系統(tǒng)

LCR表與待測件連接圖
MOS電容的C-V測試系統(tǒng)主要由源表、LCR 表、探針臺和上位機軟件組成。LCR 表支持的測量頻率范圍在 0.1Hz~30MHz。源表(SMU) 負責提供可調直流電壓偏置，通過偏置夾具盒CT8001 加載在待測件上。以PCA1000LCR表和吉時利2450源表組成的C-V 測試系統(tǒng)為例，可以滿足精確測量的要求：

指標

參數(shù)

AC信號頻率范圍

10Hz - 1 MHz（CT8001）

AC信號測試范圍

10mV - 2Vrms (1mVrms 分辨率 )

DC 信號測試范圍

0.01- 2V

輸出阻抗

100Ω

頻率輸出精度

±0.01%，5 位

基本測量精度

±0.08%

測量速度

8ms （最快）

直流電壓偏置范圍

-200V - 200V

直流偏壓調節(jié)分辨率

最高 500nV

直流偏壓設置精度

最高 200uV

CT8001 直流偏置夾具工作頻率

100Hz - 1MHz